●概要・半導体試料の基礎物性評価装置です。 |
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ホール効果測定装置(カタログ) | |||
●装置構成及び仕様 ・測定システム本体 直流電流源、直流電圧計が独立しており 安定で精密な測定 van der Pauw法による測定 磁場の自動反転機構による自動計測化 ・試料ホルダー プローブ式による安易な試料交換 架台上部に設置した取り換え用作業台による スムーズな取替え性 ・マグネット 漏れ磁束の少ない永久磁石採用 オプションにより磁場強度を変更可能 (ご相談に応じての特注しようとなります。) ・測定 パラメーター設定後、磁場回転を含む全自動測 定・計算 ・直流電流源 最大出力:±200mA 最小分解能:100nA 出力ノイズ:30nAp-p以下(3mA,1kΩ) ※数mAレンジ、DC-100Hz低周波ノイズ ・直流電圧計 最大許容入力電圧:1kV 最小分解能:100nV ※100mVレンジ 入力インピーダンス:1GΩ ※100mAレンジ 表示桁数:6ケタ ・サンプル形状:□10㎜ 厚み2㎜以下 プローブ位置調整にて□7~□18㎜対応 ・マグネット 発生磁場強度:5.5kOe ・測定環境 測定温度:室温 ・大きさ H760㎜×W660㎜×D532㎜ ・PC動作環境 Windows7,XP,Vista対応 |
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