誠南工業株式会社は真空装置の設計製作を行っております。

規格品・加工品一覧

「マグネトロンスパッタリングソース」

高真空、超高真空にて使用ができ、強磁性体での使用が可能です。また、ターゲット及びバッキングプレートの特殊な加工が不要でDC及びRF電源で使用できます。ターゲットサイズは(2"仕様,４"仕様）が御座います。

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「フランジ/変換フランジ」

φ34〜φ356ICFフランジ
φ34〜φ253ICF変換フランジです。
表面処理：酸洗い/G.B.B処理/電解研磨。
内径変更等、その他の加工に対応いたします。
ご相談ください。

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「ニップル/変換ニップル」

φ34〜φ356ICFニップル、
φ34〜φ253ICF変換ニップルです。
表面処理：酸洗い/G.B.B処理/電解研磨。
内径変更等、その他の加工に対応いたします。
ご相談ください。

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「丸型チャンバー/角型チャンバー」

真空用チャンバーです。
表面処理：酸洗い/G.B.B処理/電解研磨/内面バフなど
材質はSUSや、アルミなども可能です。
御要りようの状況に合わせ、ポートの数や大きさなど設計・製造致します。ご相談ください。

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「マニピュレーター」

各種ポートに取り付けることができ、真空中での試料の移動・位置決めが、大気側から操作できる複合ステージです。
フランジのサイズ・フランジの形状・各種軸の移動距離などご使用の状況に合わせて設計・製作が可能です。
ご相談ください。

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「その他（真空部品・加工品)」

誠南工業ではお客様の御要りような状況に合わせ部品１点１点製作しております。どんなものでも一度ご相談ください。
・ビューポート窓付き
・152ICFキューブ
・マルチポートフランジ
・ポート付φ70ICFニップル
・φ152-φ70レデューサ
・あおり機構
・分岐管
・小型真空容器
・基板加熱ヒーター/簡易ヒーター加熱電源
・ランプヒーター
・基板ホルダー
・回転チルト付非磁性基板ホルダー
・φ70ICFクロス管＋マイクロメーターヘッド
・LN2トラップ
・非磁性精密部品
・加工フランジ　etc・・・・

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