プローブ・プローバ装置

低温プローバー装置LOW-TEMPERATURE PROBER　EQUIPMENT


●概要・ウェハーに針（プローブ）を当て電気を流し、正常に動作するかの確認を行う装置。・本装置の特長としてプローブ時に試料台の下部から試料へ光照射を行なえる機構を有して　います。
●装置構成・真空プローバー　クライオスタット　80K　パルス管冷凍機　組込・プローバー用XYZステージ(ポジショナ) ・チャンバー用防振台・温度コントローラー・校正付き　Siセンサー・排気系・観察系　顕微鏡システム		●オプション・LN₂ 90K仕様ステージ・LHe 10K仕様ステージ
●仕様温度域：400K～90K以下サンプルサイズ：30㎜×30㎜、t=0.6㎜,1.0㎜

〒559-0011
大阪市住之江区北加賀屋4-3-24


●概要・ウェハーに針（プローブ）を当て電気を流し、正常に動作するかの確認を行う装置。・本装置の特長としてプローブ時に試料台の下部から試料へ光照射を行なえる機構を有して　います。
●装置構成・真空プローバー　クライオスタット　80K　パルス管冷凍機　組込・プローバー用XYZステージ(ポジショナ) ・チャンバー用防振台・温度コントローラー・校正付き　Siセンサー・排気系・観察系　顕微鏡システム		●オプション・LN₂ 90K仕様ステージ・LHe 10K仕様ステージ
●仕様温度域：400K～90K以下サンプルサイズ：30㎜×30㎜、t=0.6㎜,1.0㎜